硅片清洗機是利用超聲波清洗技術，在清洗過程中超聲波頻率在合理的范圍內往復掃動，帶動清洗液形成細微回流，使工件污垢在被超聲剝離的同時迅速帶離工件表面，提高清洗效率。
一、硅片清洗機的工作原理是什么
1、真空脫氣，有效去除液體中氣體，且運用拋動功能，增強超聲對工件表面油污和污垢的清洗能力，縮短清洗時間。
2、洗籃轉動機構，重疊不可分拆的零件或形狀復雜的零件，也可做到均勻完整的清洗。
3、減壓真空系統，能吸出盲孔、縫隙及疊加零件之間的空氣，使超聲波在減壓的狀態下產生驚人的清洗效果。
4、真空蒸汽清洗+真空干燥系統，利用蒸汽洗凈做養護，實現清洗效果。
5、蒸汽清洗、干燥及清洗液加熱的全過程在減壓真空中進行，更有效地確保了安全性。
6、防爆配件及簡潔加熱系統，進一步提高安全度。
二、硅片清洗機的操作說明
1、欲清洗工件放入料框內專用固定夾內，由人工將料框放上入料口，等工位機械手自動將料框送入清洗機本體，上下提升機構依照PLC程序將料框搬送到相應高度位置。
2、完成對工件的清洗、噴淋、漂洗、慢提拉脫水和熱風干燥后、送至清洗機出口，運送到卸料臺出料，等工位機械手由氣缸橫向驅動，直線滑軌導向。
3、上下提升由馬達驅動，直線導軸導向，慢提拉提升機構由變頻馬達驅動，直線滑塊導向，上下料由上下提升機構獨立完成，采用觸摸屏操作系統，有手動和自動切換開關及有關操作按鈕，能對整個運行過程實行控制。
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更新時間：2022-07-25 
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