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晶圓清洗機如何進行養護操作

更新時間:2016-10-28      瀏覽次數:2627
   如何保養晶圓清洗機?保養晶圓清洗機的方法有哪些?保養晶圓清洗機注意事項有哪些?下面就由小編為大家總結了一些使用經驗,希望能對大家在養護時得到幫助。
  日常維護:
  1、沖洗接入清潔劑的軟管和過濾器,去除任何洗滌劑的殘留物以助于防止腐蝕;
  2、關斷連接到清洗機上的供水系統;
  3、扣動伺服噴槍桿上的扳機可以將軟管里全部壓力釋放掉;
  4、從清洗機上卸下橡膠軟管和高壓軟管;
  5、切斷火花塞的連接導線以確保發動機不會啟動(適用于發動機型)。
  電動型:
  將電源開關轉到‘開’和‘關’的位置四到五次每次1-3秒以清除泵里的水。這一步驟將有助于保護泵免受損壞。
  發動機型:
  緩慢地拉動發動機的啟動繩5次來清除泵里的水。這一步驟將有助于保護泵免受損壞。
  定期維護---每2個月維護一次
  1、定期從貯油箱里清除燃料沉淀物將延長發動機的使用壽命和性能。燃料的沉淀物會導致對燃料管道,燃料過濾器和化油器的損壞;
  2、當不使用高壓清洗機時用凱馳泵的防護套件來保護你的高壓清洗機。泵的防護套間是特別用來保護高壓清洗機防止受腐蝕,過早磨損和凍結等。并且要給閥和密封圈涂上潤滑劑,防止它們卡住。
  電動型:
  1、關閉晶圓清洗機
  2、將高壓軟管和伺服噴槍桿與泵斷開連接;
  3、將閥接在泵防護罐上并打開閥;
  4、啟動打開清洗機,將罐中所有物質吸入泵里;
  5、關閉清洗機,現在高壓清洗機可以直接貯存。
  發動機型:
  1、關閉晶圓清洗機
  2、將高壓軟管和伺服噴槍桿與泵斷開連接;
  3、將閥接在泵防護罐上并打開閥;
  4、點火,拉動啟動繩,將罐中所有物質吸入泵里;
  5、現在晶圓清洗機可以直接貯存。
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